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G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） W a f e r S i z e : 2 1 2 英 寸 （ 兼 容 尺 寸 依 据 客 户 晶 圆 尺 寸 可 选 ） 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 设 备 实 现 2 1 2 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） > 6 / 8 英 寸 全 自 动 匀 胶 显 影 机 自 动 匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 1 5 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 1 5 0 0 0 0 0 . 0 0 W a f e r S i z e : 2 1 2 英 寸 （ 兼 容 尺 寸 依 据 客 户 晶 圆 尺 寸 可 选 ） 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 设 备 实 现 2 1 2 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） W a f e r S i z e : 2 1 2 英 寸 （ 兼 容 尺 寸 依 据 客 户 晶 圆 尺 寸 可 选 ） 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 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障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） > 半 自 动 涂 胶 显 影 机 － 爱 姆 加 电 子 自 动 匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 晶 圆 尺 寸 ： 2 1 2 英 寸 可 选 功 能 ： 手 动 上 下 取 片 、 其 他 工 艺 自 动 完 成 自 动 滴 胶 、 甩 胶 、 匀 胶 光 刻 机 供 胶 系 统 ： 胶 路 可 选 配 （ 需 前 提 告 知 胶 粘 度 ） E B R 清 洗 B S R 清 洗 功 能 选 配 可 选 配 高 效 F F U 功 能 晶 片 固 定 方 式 有 ： 机 械 夹 所 持 与 真 空 吸 附 晶 圆 尺 寸 ： 2 1 2 英 寸 可 选 功 能 ： 手 动 上 下 取 片 、 其 他 工 艺 自 动 完 成 自 动 滴 胶 、 甩 胶 、 匀 胶 光 刻 机 供 胶 系 统 ： 胶 路 可 选 配 （ 需 前 提 告 知 胶 粘 度 ） E B R 清 洗 B S R 清 洗 功 能 选 配 可 选 配 高 效 F F U 功 能 晶 片 固 定 方 式 有 ： 机 械 夹 所 持 与 真 空 吸 附 > 全 息 光 栅 方 形 基 片 涂 胶 机 全 息 光 栅 匀 胶 / 显 影 机 市 场 价 : 2 0 0 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 2 0 0 0 0 0 0 0 . 0 0 方 形 基 片 匀 胶 机 ， 主 要 用 于 完 成 方 形 基 片 （ 全 息 光 栅 涂 胶 机 ） 大 尺 寸 玻 璃 片 匀 胶 机 、 方 形 基 片 显 影 机 等 匀 胶 、 显 影 、 清 洗 工 艺 大 尺 寸 的 玻 璃 以 及 厚 度 在 2 0 M M 以 内 的 基 片 光 刻 胶 及 化 学 药 液 的 供 给 系 统 可 选 方 形 基 片 匀 胶 机 ， 主 要 用 于 完 成 方 形 基 片 （ 全 息 光 栅 涂 胶 机 ） 大 尺 寸 玻 璃 片 匀 胶 机 、 方 形 基 片 显 影 机 等 匀 胶 、 显 影 、 清 洗 工 艺 大 尺 寸 的 玻 璃 以 及 厚 度 在 2 0 M M 以 内 的 基 片 光 刻 胶 及 化 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匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 匀 胶 机 针 对 实 验 室 匀 胶 机 立 柜 式 匀 胶 机 可 选 配 自 动 滴 胶 以 及 加 有 上 盖 的 防 溅 功 能 主 轴 转 速 ： 2 0 0 ～ 8 0 0 0 R P M 精 度 ± 1 R P M ， 转 速 可 调 匀 胶 机 针 对 实 验 室 匀 胶 机 立 柜 式 匀 胶 机 可 选 配 自 动 滴 胶 以 及 加 有 上 盖 的 防 溅 功 能 主 轴 转 速 ： 2 0 0 ～ 8 0 0 0 R P M 精 度 ± 1 R P M ， 转 速 可 调 > 新 开 发 产 品           半 导 体 晶 圆 清 洗 机 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 基 本 尺 寸 规 格 ： 4 / 6 / 8 寸 标 准 晶 圆 ， 晶 圆 厚 度 8 0 1 0 0 u m R C W 清 洗 设 备 的 生 产 A P M 1 # 液 去 表 面 颗 粒 及 金 属 杂 质 H P M 2 # 液 去 金 属 粒 子 设 排 风 风 压 检 测 控 制 系 统 采 用 P L C 控 制 ， 可 通 过 通 信 协 议 指 令 控 制 整 机 元 器 件 通 过 C E , C C C , 或 U L 认 证 ， 性 能 可 靠 稳 定 基 本 尺 寸 规 格 ： 4 / 6 / 8 寸 标 准 晶 圆 ， 晶 圆 厚 度 8 0 1 0 0 u m R C W 清 洗 设 备 的 生 产 A P M 1 # 液 去 表 面 颗 粒 及 金 属 杂 质 H P M 2 # 液 去 金 属 粒 子 设 排 风 风 压 检 测 控 制 系 统 采 用 P L C 控 制 ， 可 通 过 通 信 协 议 指 令 控 制 整 机 元 器 件 通 过 C E , C C C , 或 U L 认 证 ， 性 能 可 靠 稳 定 > 小 型 精 密 狭 缝 涂 布 机 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 高 精 度 狭 缝 式 涂 布 机 是 在 不 同 刚 性 或 柔 性 基 材 上 制 备 涂 布 工 艺 的 理 性 选 择 。 无 论 是 需 要 进 行 纳 米 级 及 亚 微 米 级 功 能 性 涂 层 的 涂 布 试 验 还 是 墨 水 调 试 、 工 艺 研 究 、 小 规 模 制 样 研 发 等 还 是 大 面 积 涂 布 制 备 ， 狭 缝 涂 布 机 都 能 提 供 高 效 精 准 的 数 据 获 取 和 分 析 能 力 。 高 精 度 狭 缝 式 涂 布 机 是 在 不 同 刚 性 或 柔 性 基 材 上 制 备 涂 布 工 艺 的 理 性 选 择 。 无 论 是 需 要 进 行 纳 米 级 及 亚 微 米 级 功 能 性 涂 层 的 涂 布 试 验 还 是 墨 水 调 试 、 工 艺 研 究 、 小 规 模 制 样 研 发 等 还 是 大 面 积 涂 布 制 备 ， 狭 缝 涂 布 机 都 能 提 供 高 效 精 准 的 数 据 获 取 和 分 析 能 力 。 > 废 气 处 理 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 废 气 处 理 设 备 生 产 加 工 ， 可 以 到 现 场 测 量 定 制 处 理 极 别 选 配 直 径 及 高 度 可 订 制 废 气 处 理 设 备 生 产 加 工 ， 可 以 到 现 场 测 量 定 制 处 理 极 别 选 配 直 径 及 高 度 可 订 制 > 超 声 波 喷 雾 涂 胶 机 新 开 发 设 备 市 场 价 : 8 0 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 8 0 0 0 0 0 0 . 0 0 喷 雾 式 涂 布 机 主 要 用 于 开 发 研 究 和 各 种 半 导 体 器 件 （ M E M S ) 和 微 机 械 ， 超 声 的 频 率 可 调 ； X Y 速 度 旋 转 角 度 温 度 可 调 喷 雾 式 涂 布 机 主 要 用 于 开 发 研 究 和 各 种 半 导 体 器 件 （ M E M S ) 和 微 机 械 ， 超 声 的 频 率 可 调 ； X Y 速 度 旋 转 角 度 温 度 可 调 > 更 多 — — —       A b o u t u s           — — — 走 进 我 们 公 司 N E W S   新 闻 中 心       公 开 招 标 ： 暨 南 大 学 大 尺 寸 基 片 匀 胶 显 影 设 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